奇米影视777四色米奇影院,亚洲AV无码一区二区三区乱子伦,曰韩久久精品中文字幕,国产美女自卫慰黄网站,日本www网站色情乱码,丁香激情六月综合五月 ,欧洲熟妇色xxxx欧美老妇多毛,亚洲精品中文字幕二区,日韩精品亚洲专区在线播放,人妻精品一区二区三区视频

銷售咨詢熱線:
17607554908

產(chǎn)品分類

Product Category
技術(shù)文章
首頁 > 技術(shù)中心 > 曝光設(shè)備原理以及應(yīng)用 池田屋實(shí)業(yè)

曝光設(shè)備原理以及應(yīng)用 池田屋實(shí)業(yè)

 更新時(shí)間:2024-08-13 點(diǎn)擊量:1019

曝光設(shè)備原理以及應(yīng)用 池田屋實(shí)業(yè)

曝光設(shè)備原理以及應(yīng)用 池田屋實(shí)業(yè)

什么是曝光設(shè)備?

曝光裝置是在半導(dǎo)體、液晶顯示器等制造現(xiàn)場(chǎng)使用的裝置,通過照射光在基板上描繪電路、像素等圖案。

由于它們使用的光線并需要精確控制平臺(tái)等,許多產(chǎn)品體積龐大且成本數(shù)十億美元。曝光工序是半導(dǎo)體和液晶顯示器制造中決定設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)( CAD數(shù)據(jù))圖案的工序,因此是極其重要的設(shè)備。每家公司都開發(fā)了多種曝光方法并在自己的設(shè)備中使用它們。

曝光設(shè)備的應(yīng)用


圖1. TFT液晶顯示器的TFT基板側(cè)的制造流程概述

曝光設(shè)備主要用于半導(dǎo)體制造現(xiàn)場(chǎng)和液晶顯示器等平板顯示器(FPD)制造現(xiàn)場(chǎng)。

在半導(dǎo)體制造工藝中,以硅晶片為基板,形成氧化膜,涂敷光致抗蝕劑(感光材料),并通過光掩模用從曝光裝置發(fā)出的強(qiáng)紫外線照射涂敷表面。允許通過蝕刻等去除不需要的部分。這種使用曝光設(shè)備的方法稱為光刻法。

在LCD制造過程中,一般使用玻璃基板,并重復(fù)數(shù)個(gè)循環(huán)的金屬或其他薄膜沉積、光刻和蝕刻。

可以在一個(gè)基板上形成像素電極和開關(guān)元件(TFT元件等),并且可以在另一基板上形成具有光的三基色(紅、綠和藍(lán))的濾色器。通過將兩個(gè)基板粘合在一起并在其間放置液晶材料,就完成了用于 LCD 顯示器的面板。

選擇曝光設(shè)備時(shí),需要在購買前與設(shè)備制造商充分討論曝光所用光源的類型和精度、載物臺(tái)的精度等,因?yàn)槠鋬r(jià)格非常昂貴。

曝光設(shè)備原理

我們將解釋曝光設(shè)備的測(cè)量原理。曝光設(shè)備由光源、偏光鏡、光掩模、聚光鏡、載物臺(tái)、傳送硅片的機(jī)械手等組成。

鏡頭和光掩模的設(shè)計(jì)精度 ,平臺(tái)的運(yùn)行精度也很高。操作過程中,曝光目標(biāo)精確固定在載物臺(tái)上。在操作中,每次曝光時(shí)載物臺(tái)都會(huì)移動(dòng),在曝光的物體上創(chuàng)建大量圖案。

從光源發(fā)出短波長的強(qiáng)光,偏光透鏡調(diào)整光的方向,然后照射到光掩模上,光掩模是配置電路圖案的原型。穿過光掩模的光被聚光透鏡聚焦,并在曝光的目標(biāo)上描繪出非常小的電路圖案。

一旦整個(gè)曝光目標(biāo)被曝光,它就會(huì)被機(jī)器人或其他設(shè)備運(yùn)輸。根據(jù)產(chǎn)品的不同,曝光目標(biāo)會(huì)滲透到液體中,有些產(chǎn)品的設(shè)計(jì)旨在實(shí)現(xiàn)更準(zhǔn)確的曝光。

有關(guān)曝光設(shè)備的其他信息

1、曝光設(shè)備分享

2018年,半導(dǎo)體曝光設(shè)備制造商來自歐洲(84%)和日本(14%),幾乎以歐洲和日本制造商為主。此外,液晶顯示器的FPD(平板顯示器)曝光設(shè)備幾乎由兩家日本廠商主導(dǎo)。

半導(dǎo)體光刻設(shè)備據(jù)說精密的機(jī)器,最新的半導(dǎo)體已經(jīng)小型化,芯片上的布線寬度(工藝規(guī)則)已減少到3至5納米。

對(duì)于FPD曝光設(shè)備來說,最新設(shè)備的線寬在幾微米或更小,并且這些設(shè)備逐年變得更薄、更大,設(shè)備也變得更精確、更大,以創(chuàng)造出更美麗和高清晰度的圖像。它正在進(jìn)步。

2. 關(guān)于EUV曝光設(shè)備

在半導(dǎo)體光刻設(shè)備中,EUV(Extreme Ultraviolet)光刻設(shè)備使用被稱為極紫外線的極短波長光。

它可以加工更精細(xì)的尺寸,而這是使用 ArF 準(zhǔn)分子激光的傳統(tǒng)半導(dǎo)體曝光設(shè)備難以加工的。半導(dǎo)體小型化正在按照摩爾定律進(jìn)展(半導(dǎo)體集成電路的集成度和功能將在三年內(nèi)提高四倍)。

到目前為止,通過稱為步進(jìn)曝光機(jī)的縮小投影曝光技術(shù)、更短的曝光波長和浸沒式曝光技術(shù)的發(fā)展,分辨率已得到顯著提高。小型化是指晶圓上可印刷的最小加工尺寸變得更小,最小加工尺寸R由下面的瑞利方程表示?!?/span>

R=k·λ/NA *k為比例常數(shù),λ為曝光波長,NA為曝光光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑

通過各種技術(shù)的發(fā)展,通過減小k、減小λ和增大NA來實(shí)現(xiàn)小型化。 EUV曝光設(shè)備被認(rèn)為是一種可以通過縮短曝光波長來克服以往限制的技術(shù),近年來已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。

3.關(guān)于FPD曝光設(shè)備

FPD(平板顯示器)是液晶顯示器、等離子顯示器、有機(jī)EL顯示器等,在智能手機(jī)、平板電腦、家用平板電視等家庭和街道上隨處可見。

FPD曝光設(shè)備是用于制造平板顯示器的設(shè)備。原理與半導(dǎo)體制造設(shè)備相同。它用光照射光掩模,通過透鏡將電路圖案曝光到玻璃板上,形成陣列。 。

我們還創(chuàng)建了在顯示器上生成圖像和視頻的濾色器,并將它們與陣列組合以完成顯示。彩色濾光片是表達(dá)圖像和視頻顏色的濾光片。將基于顏料的彩色抗蝕劑涂在玻璃上并進(jìn)行曝光和顯影。


日本熟妇乱一区二区三区| 爆乳日韩尤物无码一区| xvideos一色全网免费视频| 中文字幕国产91| 免费无码又爽又刺激动态图| 男男视频在线一区二区| 黑巨人与欧美精品一区| 免费无码又爽又刺激网站直播| 国产成人精品亚洲日本在线观看| 欧美高清视频一区二区三区| 亚洲一区二区三午夜福利| 成人一区二区三区激情视频| 精品国产一区二区三区香蕉| 日本人妻巨大乳挤奶水免费| 亚洲中文字幕伊人久久无码 | 亚洲国产综合无码一区二区bt下| 性夜夜春夜夜爽夜夜免费视频| a男人的天堂久久a毛片| 91精品国产91热久久久久福利 | 亚洲色偷拍区另类无码专区| 国产在线拍揄自揄视频网试看| 好男人在线观看免费高清完整版| 亚洲第一综合天堂另类专 | 在线国产毛片| 亚洲精品无码高潮喷水A| 亚洲中文字幕一区二区| 亚洲高清WWW色好看美女| 两个人视频免费观看| 自拍偷自拍亚洲精品10p| 黑人上司粗大拔不出来电影| 99热精品69堂国产| 色狗av| 日韩精品亚洲 国产| 九色综合国产一区二区三区| 国产精品你懂的在线播放| 精品无码一区二区三区| 99久久人妻无码精品系列| 天天影视色香欲综合久久| 亚洲福利精品一区二区三区| 午夜爽爽爽男女污污污网站| 国精品无码一区二区三区在线蜜臀|