YAMADA山田光學 YP-150ID高亮度鹵素燈

YAMADA山田光學 YP-150ID高亮度鹵素燈

根據(jù)具體要求可以選擇黃光和白光兩種光源 可檢測各種缺陷 如硅片 砷化鎵 碳化硅

等半導(dǎo)體晶片及液晶基板表面的異物 劃痕 拋光不均 霧狀 劃傷等 照度在400000Lx以上

YP-250I鹵素燈通風機可選擇螺旋式風扇或者管道通風型

YP-150I照度范圍φ30

YP-250I照度范圍φ60

用于Si薄片，玻璃表面的瑕疵檢查的照明光源，微小瑕疵也可被檢測出來

產(chǎn) 品 特 點

1. 大于   400,000luxes的照明光線可容易檢測出只有精密探測儀才可測出的瑕疵。(照射面積為 30mmdia).

2.   使用鹵素燈作為光源，色溫高達3400K，照光和顏色均一了穩(wěn)定強光的照射。

3. 由于冷鏡的使用，使得熱影響與常規(guī)鋁鏡相比較少1/2   到 1/3

4. 光束直徑由鏡片調(diào)整30-50mm 之間調(diào)整

5. 底部開光，調(diào)整照明勘察器高度，操作簡便，可控制光量

高強度鹵素光源裝置 是一種宏觀觀察照明裝置，用于檢測
最終成品表面上的各種缺陷，如異物、劃痕、拋光不均勻、霧霾、滑移等，是工件加工過程中勞動強度最大的部分。半導(dǎo)體晶片和液晶基板

YP-150I 照度范圍：30mmφ

YP-250I 照度范圍：60mmφ

超精密平面檢測的理想選擇！通過驚人的照明，可以檢測小于 0.2 μm 的缺陷。

YP-150I"是一種用于顯微觀察的照明裝置，用于檢測

最終成品表面上的各種缺陷，如異物、劃痕、拋光不均勻、霧度、滑移等，是半導(dǎo)體加工過程中勞動強度的一種。晶圓和液晶板

另外，由于采用鹵素燈作為光源，色溫高，

光照不均勻的情況很少，光照***穩(wěn)定銳利。

姊妹機“YP-250I"也可用于 8 英寸。

光源采用鹵素燈

 可以將樣品表面照射到400,000 Lx或更高

  熱量的影響降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3

　 高照度觀察和低照度觀察可一鍵切換

　　請用于超精密平面檢測！