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池田屋 ROOKS 模塊化設計控制儀器儀表 SLA5851

簡要描述:池田屋 ROOKS 模塊化設計控制儀器儀表 SLA5851
長期零點穩(wěn)定性:0.2%滿量程/年或更小
高精準度
額定流量范圍廣 - 0.003 至 2500 slpm
高壓額定值 - 高達 1500 psi/100 bar(可選:4500 psi/310 bar)
可配置的多氣體/多范圍功能

  • 產品型號:SLA-5851
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-07-17
  • 訪  問  量:312
詳情介紹

池田屋 ROOKS 模塊化設計控制儀器儀表 SLA5851 

池田屋 ROOKS 模塊化設計控制儀器儀表 SLA5851 

一臺設備支持多種氣體,最大限度地提高工藝靈活性和生產率。 GF40 系列彈性密封質量流量控制器/儀表采用 Brooks Instrument 的 MultiFlo™ 技術,非常適合使用多種氣體、經常更改氣體類型或保持氣體測量和控制精度的應用,是系統(tǒng)、過程和設施的理想選擇。需要重新確定范圍。憑借的流量測量和控制性能,將您的過程靈活性提升到一個新的水平。

利用 MultiFlo™ 技術最大限度地延長工藝生產正常運行時間,該技術支持新的氣體校準和滿量程范圍,而無需從氣體管線中拆除質量流量控制器 (MFC)。

簡單易懂的 MultiFlo™ 編程:60 秒內即可在不同氣體選擇之間切換

減少 OEM 和大型最終用戶擁有的具有固定氣體類型和流量范圍的控制器庫存

通過基于全球標準的高性能測量系統(tǒng)和校準實現(xiàn)的過程氣體精度

耐腐蝕傳感器提供傳感器的長期穩(wěn)定性,確保最大產量和吞吐量

用戶可訪問的服務端口簡化了故障排除和診斷

彈性體密封件能夠以合理的成本在各種應用中提供靈活的性能

支持多種協(xié)議通信接口集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中

利用 MultiFlo™ 技術最大限度地延長工藝生產正常運行時間,該技術支持新的氣體校準和滿量程范圍,而無需從氣體管線中拆除質量流量控制器 (MFC)。

簡單易懂的 MultiFlo™ 編程:60 秒內即可在不同氣體選擇之間切換

減少 OEM 和大型最終用戶擁有的具有固定氣體類型和流量范圍的控制器庫存

通過基于全球標準的高性能測量系統(tǒng)和校準實現(xiàn)的過程氣體精度

耐腐蝕傳感器提供傳感器的長期穩(wěn)定性,確保最大產量和吞吐量

用戶可訪問的服務端口簡化了故障排除和診斷

彈性體密封件能夠以合理的成本在各種應用中提供靈活的性能

支持多種協(xié)議通信接口集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中

流量范圍(滿量程容量)3 sccm - 50 slpm

準確性

SP 35-100% 的 1%,F(xiàn)S 2-35% 的 0.35%

再現(xiàn)性

0.20% SP

線性度

±0.5% FS(包含在精度內)

響應時間

常閉閥:300 毫秒 -<1 秒

多氣體多范圍MultiFlo™ 可用

控制范圍

2-100%

垃圾箱數(shù)量

10 個垃圾箱

閥門關閉

當設定點低于滿量程的 1.5% 時關閉閥門

零穩(wěn)定性每年 <±0.5% FS

壓力系數(shù)

0.03% 每 psi (0-50psi N2 )







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