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日本ULVAC愛發(fā)科 GR60A 簡單結(jié)構(gòu)的干泵GR系列 螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計